王守武自1950年回国后致力于我国半导体器件和集成电路事业40余年,是我国半导体微电子和光电子科技事业的奠基人之一。
中国科学院微电子中心成立以来,王守武担任微电子中心名誉主任,从中心的大政方针、课题的研究方案,技术路线到设备调试,都提出独到的见解
为了保证大规模集成电路的成品率,中心超净厂房需保持恒温恒湿条件,要先致冷,再烧锅炉加热。在当时的社会环境下,一些声音认为,为了节约能源,可以稍微牺牲一点儿过于严苛的限制。
但王守武坚持按科学规律办事,要将送入超净室的空气先冷凝到5℃去湿,然后再加热至22℃送入室内。因此自1988年开始,微电子中心净化厂房一直保持了恒温恒湿的优良生产条件,使开发线不断有新产品出现,成品率逐年增高、效益也与日俱增。
王守武实事求是、严谨的科学态度和对微电子事业高度的责任感贯穿在他的一言一行中。
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