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“土光刻机”立大功
来源:中国科学报社 科学家: 王守觉 故事标签: 爱国 创新 发布时间:2024/6/22 18:55:46


1960年初,美国研制出“硅平面型晶体管”的消息传来。此时,我国正因研制“两弹一星”的需要,希望能寻找到更高性能的半导体元器件。半导体电子学家王守觉深感,这正是团队要啃下的“硬骨头”,他毅然放下手头的工作,带领团队转攻硅平面工艺,向这项重大任务发起了挑战。

硅平面型晶体管的研制,也成了中国科学院半导体所的“一号任务”。当时参与技术攻关的人员回忆:“我们一无资料,二无图纸,实验设备也是一穷二白,国家物质供应极度匮乏,但人们的精神却非常充实,全体同志在王守觉先生领导下日夜团结奋战。”面对重重难关,王守觉都能以他的勇气和智慧创造性地攻克,带领大家披荆斩棘、一步步走向成功。比如,在攻克“光刻”这一难关时,当时国内根本没有光刻机,王守觉因陋就简,巧妙地用两台显微镜再加上一个紫外曝光灯,搭建了一台“土光刻机”。

就这样闯过一个又一个难关,终于研制成功了中国人自己的硅平面工艺晶体管。装备在了“两弹一星”任务功勋计算机“109丙机”上,为氢弹的研制作出了贡献。

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